集束イオンビーム化学気相成長法を用いた長尺オーバーハングナノ構造形成における材料組成の均質化
集束イオンビーム化学気相成長法を用いた長尺オーバーハングナノ構造形成における材料組成の均質化
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使用聚焦离子束化学气相沉积形成长悬垂纳米结构时材料成分的均质化
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
米谷 玲皇，青沼 正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Shinose;A. Ueno;S. Yamaguchi;Y. Akiyama;米谷 玲皇，青沼 正
