Wet chemical etching of MOVPE-AlN templates for evaluation of threading dislocations
Wet chemical etching of MOVPE-AlN templates for evaluation of threading dislocations
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MOVPE-AlN 模板的湿法化学蚀刻用于评估螺纹位错
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yoshinao Kumagai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Taro Mitsui;Mari Higuchi;Toru Nagashima;Toru Kinoshita;Reo Yamamoto;Bo Monemar;and Yoshinao Kumagai
