沿面プラズマによる常温大気圧下での酸化物薄膜のダイレクトパターニング
沿面プラズマによる常温大気圧下での酸化物薄膜のダイレクトパターニング
复制标题
使用蠕变等离子体在室温和大气压下直接图案化氧化物薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
柴山;他
