伊藤明子: "グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄によるステンレス鋼の放出ガス低減"真空. 第30巻 第5号. 276-279 (1987)
伊藤明子: "グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄によるステンレス鋼の放出ガス低減"真空. 第30巻 第5号. 276-279 (1987)
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Akiko Ito:“通过使用辉光模式等离子体源进行放电清洁来减少不锈钢的气体排放”,真空,第 30 卷,第 5 期,第 276-279 期。
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