SiO2 thin film deposition on the inner surface of a poly(tetra-fluoroethylene) narrow tube by atmospheric-pressure glow microplasma
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DOI：
10.1016/j.tsf.2006.03.060
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发表时间：
2006-12
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
H. Yoshiki;K. Abe;T. Mitsui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Yoshiki;K. Abe;T. Mitsui
