Fabrication of Face-to-Face Annealed Sputter-Deposited AlN for High EQE 265 nm LEDs
Fabrication of Face-to-Face Annealed Sputter-Deposited AlN for High EQE 265 nm LEDs
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用于高 EQE 265 nm LED 的面对面退火溅射沉积 AlN 的制造
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kenjiro Uesugi,Shigeyuki Kuboya,Takao Nakamura,Kanako Shojiki,Shiyu Xiao,Masataka Kubo,Hideto Miyake
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Ichimiya;S. Ichikawa;S. Kobayashi;J. Tatebayashi;and Y. Fujiwara;Kenjiro Uesugi,Shigeyuki Kuboya,Takao Nakamura,Kanako Shojiki,Shiyu Xiao,Masataka Kubo,Hideto Miyake
