Development of Small Displacement Sensor and Small Ultraprecision Positioning Device with 1nm Resolution (in Japanese)
Development of Small Displacement Sensor and Small Ultraprecision Positioning Device with 1nm Resolution (in Japanese)
复制标题
1nm分辨率小型位移传感器及小型超精密定位装置的开发（日文）
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Yamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J.Otsuka;S.Ichikawa;Y.Yamaguchi
