Pt触媒を用いたGaN基板平坦化加工とステップテラス構造の評価
Pt触媒を用いたGaN基板平坦化加工とステップテラス構造の評価
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使用 Pt 催化剂平坦化 GaN 衬底并评估阶梯平台结构
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
定國 峻
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Koizumi;Y.;Shimizu;Y.;定國 峻