Surface Micromachining: A Brief Introduction
Surface Micromachining: A Brief Introduction
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表面微加工：简介
DOI：
10.1557/mrs2001.61
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
5
通讯作者：
C. Zorman
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Mehregany;C. Zorman
微机电系统（MEMS）迅速扩展到新的应用领域在很大程度上是由于表面微机械加工技术的发展，该技术允许制造具有可以在至少一个方向上执行运动的结构部件的各种MEMS器件。
The rapid expansion of microelectromechanical systems (MEMS) into new application areas is due in large part to the development of surface-micromachining techniques that allow the fabrication of a wide variety of MEMS devices with structural components that can execute motion in at least one direction.