Heat deformation in optical measurement of MEMS

Heat deformation in optical measurement of MEMS
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MEMS光学测量中的热变形

DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
Proceedings of IMECE'02 2002 ASME international mechanical engineering congress & exprosition IMECE 2002-33399
影响因子：
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通讯作者：
Atsunobu Mori
Atsunobu Mori
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yasuhiko Arai;Tatsuya Nakagami;Seiji Aoyagi;Atsunobu Mori

文献摘要

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