Ultraprecise Positioning X-Y Stage Composed of Pneumatic Servo Bearing Actuators
Ultraprecise Positioning X-Y Stage Composed of Pneumatic Servo Bearing Actuators
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由气动伺服轴承执行器组成的超精密定位X-Y平台
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Matsuoka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Danjo;Tomotaka Yoshimura;Takakazu Kitagawa;Masato Kadotani;Tomoko Hirayama;Takashi Matsuoka
