H.Sugimura 他: "Multilayer resist films for current-injecting scanning probe lithography applicable to nanopatterning of insurating substrates"J. Vac. Sci. Technol. B. 17(4). 1605-1608 (1999)
H.Sugimura 他: "Multilayer resist films for current-injecting scanning probe lithography applicable to nanopatterning of insurating substrates"J. Vac. Sci. Technol. B. 17(4). 1605-1608 (1999)
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H.Sugimura 等人:“适用于绝缘基板纳米图案化的多层抗蚀剂薄膜”,Vac。17(4)。
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