T.Yasui,H.Tahara and T.Yoshikawa: "Synthesis of ITO Thin Films by Electron Cyclotron Resonance Plasma Sputtering"プラズマ応用科学会第8回年会前刷集. (2001)

T.Yasui,H.Tahara and T.Yoshikawa: "Synthesis of ITO Thin Films by Electron Cyclotron Resonance Plasma Sputtering"プラズマ応用科学会第8回年会前刷集. (2001)
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T.Yasui、H.Tahara 和 T.Yoshikawa:“通过电子回旋共振等离子体溅射合成 ITO 薄膜”,等离子体应用科学学会第八届年会预印本(2001 年)。

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