イオン液体を用いた温度応答性 ゲルレジストの微細パターン変形
イオン液体を用いた温度応答性 ゲルレジストの微細パターン変形
复制标题
使用离子液体的凝胶抗蚀剂的温度响应微图案变形
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
横山 義之
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
竹川智子;木股雅章 他;横山 義之
