スパッタリング法によるCa-Si膜の作製と熱電特性評価
スパッタリング法によるCa-Si膜の作製と熱電特性評価
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溅射法制备Ca-Si薄膜及热电性能评价
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上原睦雄;新井洋喜;小川正太;秋山賢輔;松島正明;内田寛;木村好里;舟窪浩
