レーザー直接描画法による微細パターニング

レーザー直接描画法による微細パターニング
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采用激光直写法精细图案化

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
渡辺明
渡辺明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Akira Watanabe;渡辺明;渡辺明;Akira Watanabe;Yoshio Kobayashi;Akira Watanabe;Akira Watanabe;Akira Watanabe;渡辺明;渡辺明

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