高周波グロー放電スパッタ(rf-GDS)を利用したナノインデンテーション用バルクサンプルに対する表面仕上げ法の試行
高周波グロー放電スパッタ(rf-GDS)を利用したナノインデンテーション用バルクサンプルに対する表面仕上げ法の試行
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使用射频辉光放电溅射（RF-GDS）对大块样品进行纳米压痕表面处理方法的试验
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関戸信彰,大村孝仁,津崎兼彰
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Morita;K. Shigematsu;A. Matsumoto;N. Nitta;M. Taniwaki;関戸信彰,大村孝仁,津崎兼彰
