差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め(開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上)
差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め(開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上)
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使用差动滚珠丝杠的毫行程超精密定位（开环驱动中的定位性能和通过校正提高精度）
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahiro Fuji; Yuichi Nakamura and Masahito Matsui;深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也
