熱分解法によるNドープDLC薄膜の作製と評価

熱分解法によるNドープDLC薄膜の作製と評価
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热解法制备N掺杂DLC薄膜及评价

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
永井豊
永井豊
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
村田悠馬;田中勝己;小野洋;チュウチャオキョン;永井豊

文献摘要

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