review of HPR and its applications -Control of air turbine spindle and hybrid electro-pneumatic ultra-precision vertical positioning stage
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HPR及其应用综述——空气涡轮主轴控制及混合电空超精密垂直定位平台
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tomonori KATO
中科院分区：
文献类型：
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作者：
阿部淳;北川一敬;大谷清伸;Tomonori KATO
