Electromechanical Analysis of a Micromachined Comb-Dive Actuator by Admittance Measurement

Electromechanical Analysis of a Micromachined Comb-Dive Actuator by Admittance Measurement
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通过导纳测量对微机械梳状驱动器进行机电分析

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
電気学会論文誌E、センサ・マイクロマシン準部門誌 vol.126,No.7
影响因子：
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通讯作者：
Hiroyuki Fujita
Hiroyuki Fujita
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Kenjiro Ayano;Katuyori Suzuki;Gen Hashiguchi;Hiroyuki Fujita

文献摘要

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