New Structure of Single Crystal Silicon Acceleration Sensor - Realization of MEMS Acceleration Sensor Utilizing Resonance Frequency Change of Bending Vibrator by Axial Force -
New Structure of Single Crystal Silicon Acceleration Sensor - Realization of MEMS Acceleration Sensor Utilizing Resonance Frequency Change of Bending Vibrator by Axial Force -
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单晶硅加速度传感器的新结构 - 利用弯曲振动器的谐振频率因轴向力而变化的MEMS加速度传感器的实现 -
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sumio.Sugawara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Oglivy;H.M.Pask;J.M.Piper T.Omatsu;菅原 澄夫;菅原 澄夫;Sumio Sugawara;Sumio.Sugawara
