Structure and electronic properties of SiC thin-films deposited by RF magnetron sputtering
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DOI：
10.1016/s1003-6326(07)60101-0
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发表时间：
2007-04
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jicheng Zhou;Xuqiang Zheng
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jicheng Zhou;Xuqiang Zheng
