Micro-Texture-Controled Highly Reliable Copper Thin-Film Interconnections
Micro-Texture-Controled Highly Reliable Copper Thin-Film Interconnections
复制标题
微织构控制的高可靠性铜薄膜互连
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takeru Kato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Arata Nishii;Hiroshi Takikawa;Keisuke Suzuki;松山智至，山田純平，井上陽登，表和彦，廣瀬雷太，武田佳彦，香村芳樹，矢橋牧名，石川哲也，山内和人;Takeru Kato
