Single-nanodot Arrays and Single-nanohalf-pitch Lines Formed using PS-PDMS Self-assembly and Electron Beam Drawing

Single-nanodot Arrays and Single-nanohalf-pitch Lines Formed using PS-PDMS Self-assembly and Electron Beam Drawing
复制标题

使用 PS-PDMS 自组装和电子束绘制形成单纳米点阵列和单纳米半节距线

DOI:
--
复制
发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
T. Komori,and Y. Yin
T. Komori,and Y. Yin
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
S. Hosaka;M. Huda;H. Zhang;T. Komori,and Y. Yin

文献摘要

相似文献