High density plasma production in an rf negative hydrogen ion source with axial magnetic field generated by a permanent magnet array

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在具有永磁体阵列产生的轴向磁场的射频负氢离子源中产生高密度等离子体

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and A. Ando
and A. Ando
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K. Oikawa;Y. Saito;S. Komizunai;K. Takahashi;and A. Ando

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