固体酸化剤を応用した希酸による金のウェットエッチング
固体酸化剤を応用した希酸による金のウェットエッチング
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使用固体氧化剂用稀酸湿法蚀刻金
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小浦延幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古屋仲秀樹;石丸謙吾;畑 俊充;今村祐嗣;竹内 謙;宇井幸一;小浦延幸
