C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜生成とその特性の評価
C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C : F膜生成とその特性の評価
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C_8F_<18>A-C:F等离子CVD成膜及其特性评价
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内達也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小池広恵;(発表者);菅原広剛;酒井洋輔;須田善行;山内達也
