High ρ Surface Acoustic Wave Resonators in 2-3 GHz Range Using ScAlN/Single Crystalline Diamond Structure
High ρ Surface Acoustic Wave Resonators in 2-3 GHz Range Using ScAlN/Single Crystalline Diamond Structure
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使用 ScAlN/单晶金刚石结构的 2-3 GHz 范围内的高 ρ 表面声波谐振器
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Shikata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Hashimoto;T. Fujii;S. Sato;T. Omori. C. Ahn;A. Teshigahara;K. Kano;H. Umezawa;and S. Shikata
