リングビーム素子を用いた小型内面形状測定法の開発(第2報)-幾何学的考察の導入-
リングビーム素子を用いた小型内面形状測定法の開発(第2報)-幾何学的考察の導入-
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使用环梁元件开发紧凑的内表面形状测量方法(第二次报告)-几何考虑因素的介绍-
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉澤徹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
若山俊隆;吉澤徹