ALD成長WS2薄膜のサイクル数に応じた組成変化
ALD成長WS2薄膜のサイクル数に応じた組成変化
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ALD 生长的 WS2 薄膜的成分变化与循环次数的关系
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上野 啓司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福島 崇史;リム ホン エン;上野 啓司
