CVRD (Chemical Vapor Reductive Deposition)法による機能性薄膜の特性向上

CVRD (Chemical Vapor Reductive Deposition)法による機能性薄膜の特性向上
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使用CVRD(化学气相还原沉积)方法改善功能薄膜的性能

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
東北大学多元物質科学研究所素材工学研究彙報 62・1,2
影响因子:
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通讯作者:
吉永勝己
吉永勝己
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
村上聖;山本修一;村上 聖;山本修一;山本 修一;山本修一;Masaki Yoshinaga;M.Yoshinaga;高橋英志;中村貴宏;Yoji Sunagawa;吉永勝己

文献摘要

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