H.Sakaue,S.Iseda,K.Asami,J.Yamamoto,M.Hirose and Y.Horiike: "Atomic Layer Controlled Digital Etching of Silicon." Jpn.J.Appl.Phys.2648-2652 (1990)
H.Sakaue,S.Iseda,K.Asami,J.Yamamoto,M.Hirose and Y.Horiike: "Atomic Layer Controlled Digital Etching of Silicon." Jpn.J.Appl.Phys.2648-2652 (1990)
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H.Sakaue、S.Iseda、K.Asami、J.Yamamoto、M.Hirose 和 Y.Horiike：“原子层控制硅数字蚀刻”。
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