くし歯型MEMS共振器の共振特性と蓄積エネルギー
くし歯型MEMS共振器の共振特性と蓄積エネルギー
复制标题
梳状MEMS谐振器的谐振特性和储能
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石橋 孝一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永村 真也;石毛 剛志;石橋 孝一郎
