S.Imai: "Atomic Layer Epitaxy of Si Using Atomic H" Thin Solid Films. 223. (1993)

S.Imai: "Atomic Layer Epitaxy of Si Using Atomic H" Thin Solid Films. 223. (1993)
复制标题

S.Imai:“使用原子 H 进行硅原子层外延”固体薄膜。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献