Birefringent common-path interferometer for testing large convex spherical surfaces

Birefringent common-path interferometer for testing large convex spherical surfaces
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用于测试大凸球面的双折射共光路干涉仪

DOI：
10.1117/12.134870
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发表时间：
1993
期刊：
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影响因子：
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通讯作者：
C. Xiang
C. Xiang
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
X. Yang;C. Xiang

文献摘要

被引文献

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本文提出了一种新的双折射共光路干涉法，并结合自动数据处理系统，用于测量大凸球面。该干涉仪可以消除系统误差，获得准确的测量结果。精度约为（lambda）/50，准确度约为（lambda）/10。
We have developed a new birefringent common-path interferometric method incorporating an automatic data processing system for testing large convex spherical surfaces. This interferometer can eliminate system errors and achieve accurate results of measurement. Precision is about (lambda) /50 and accuracy is about (lambda) /10.