Non-contact inspection technique for a micro-crack under surface of glass substrate using temperature variation
Non-contact inspection technique for a micro-crack under surface of glass substrate using temperature variation
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利用温度变化对玻璃基板表面微裂纹进行非接触式检测技术
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhiro Nonaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshitaro Sakata;Nao Terasaki;Kazuhiro Nonaka
