Thermal analysis for fast thermal-response Si waveguide wrapped by SiN

Thermal analysis for fast thermal-response Si waveguide wrapped by SiN
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SiN包裹快速热响应硅波导的热分析

DOI:
10.1007/s12200-012-0187-8
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发表时间:
2012-03
影响因子:
5.4
通讯作者:
Yang Lin
Yang Lin
中科院分区:
工程技术4区
文献类型:
--
作者:
Min Rui;Ji Rui Qiang;Yang Lin

文献摘要

参考文献

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设计了一种新型的氮化硅包覆硅波导,并对其进行了光学和热分析。为了防止金属加热器对光场的吸收,上覆层厚度应大于1 μm。T
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