Performance of the 13.5 nm PVC capillary discharge EUV source
Performance of the 13.5 nm PVC capillary discharge EUV source
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13.5 nm PVC 毛细管放电 EUV 光源的性能
DOI：
10.1016/j.physleta.2004.12.061
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发表时间：
2005
影响因子：
2.6
通讯作者：
H. Kunze
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ž. Andreić;S. Ellwi;S. Pleslić;H. Kunze
