アルミナ基板上へのSiC薄膜合成とその機械特性評価
アルミナ基板上へのSiC薄膜合成とその機械特性評価
复制标题
氧化铝基SiC薄膜的合成及其力学性能评价
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
谷家大樹，秋山美穂，竹中優加，塩田忠，大宮祐也，藤井正浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Shinohara;C. Pan;L. Wang;H. Shinmori;舟根啓宏，四辻聖，大津直史;谷家大樹，秋山美穂，竹中優加，塩田忠，大宮祐也，藤井正浩
