High-dynamic optical profilometer with frequency comb profilometer and optical interferometer
High-dynamic optical profilometer with frequency comb profilometer and optical interferometer
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配备频率梳轮廓仪和光学干涉仪的高动态光学轮廓仪
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshio Hayasaki and Quang Duc Pham
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshifumi Hashikawa;Michihisa Murata;Atsushi Wakamiya;Yasujiro Murata;Yoshio Hayasaki and Quang Duc Pham
