超精密加工機「ANGEL」の特徴と今後の展開
超精密加工機「ANGEL」の特徴と今後の展開
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超精密加工机“ANGEL”的特点及未来发展
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新野秀憲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉岡勇人;新野秀憲
