Etching of ZnO Films with Hexafluoroacetylacetone
Etching of ZnO Films with Hexafluoroacetylacetone
复制标题
六氟乙酰丙酮蚀刻 ZnO 薄膜
DOI：
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Hampden
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Droes;T. Kodas;M. Hampden
