Haruyuki Inoue, Toshihiko Kataoka, Katsuyoshi Endo, Yasushi Oshikane, Yuzo Mori, Motohiro Nakano, Hiroshi An, Taichi Takemura, and Katsuo Wada: "Inspection of ultra fine particles on the Si wafer surface using laser light scattering method"Japanese J. of
Haruyuki Inoue, Toshihiko Kataoka, Katsuyoshi Endo, Yasushi Oshikane, Yuzo Mori, Motohiro Nakano, Hiroshi An, Taichi Takemura, and Katsuo Wada: "Inspection of ultra fine particles on the Si wafer surface using laser light scattering method"Japanese J. of
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Haruyuki Inoue、Toshihiko Kataoka、Katsuyoshi Endo、Yasushi Oshikane、Yuzo Mori、Motohiro Nakano、Hiroshi An、Taichi Takemura 和 Katsuo Wada：“使用激光散射法检查 Si 晶片表面上的超细颗粒”Japan J. of
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