K. Tachibana: "Detection of H Atoms in RF-Discharge CH_4, SiH_4, and H_2 Plasmas by Two-Photon Absorption Laser-Induced Fluorescence (TALIF) Spectroscopy" Proc. 10th Symposium on Plasma Processing. 49-52 (1993)
K. Tachibana: "Detection of H Atoms in RF-Discharge CH_4, SiH_4, and H_2 Plasmas by Two-Photon Absorption Laser-Induced Fluorescence (TALIF) Spectroscopy" Proc. 10th Symposium on Plasma Processing. 49-52 (1993)
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K. Tachibana：“通过双光子吸收激光诱导荧光 (TALIF) 光谱检测 RF 放电 CH_4、SiH_4 和 H_2 等离子体中的 H 原子”Proc。
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