高品質パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術
高品質パターン形状ダイヤモンドCVD膜の形成技術
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高品质图案化金刚石CVD薄膜形成技术
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清田英夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹下 温;渡邉純二;峠 睦;財部 剛;大久保誠史;清田英夫
