T.Fujita et al.: "Vacuum sealed Silicon Bulk Micromachined Gyroscope"Dig. of Tech. Paper, The 10th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators. 914-917 (1999)
T.Fujita et al.: "Vacuum sealed Silicon Bulk Micromachined Gyroscope"Dig. of Tech. Paper, The 10th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators. 914-917 (1999)
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T.Fujita 等人：“真空密封硅体微机械陀螺仪”Dig。
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