4H-SiC中の空孔欠陥と水素の反応と、水素複合欠陥のESR評価

4H-SiC中の空孔欠陥と水素の反応と、水素複合欠陥のESR評価
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4H-SiC中空位缺陷与氢的反应及氢化合物缺陷的ESR评价

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
梅田享英
梅田享英
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
棚井創基;村上功樹;奥田貴史;須田淳;木本恒暢;小杉亮治;大島武;梅田享英

文献摘要

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