The high-temperature growth in AlN with the unaffected parasitic reaction by Jet gas stream MOVPE
The high-temperature growth in AlN with the unaffected parasitic reaction by Jet gas stream MOVPE
复制标题
喷射气流 MOVPE 不影响寄生反应的 AlN 高温生长
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuusuke Takashima and Yoshiki Naoi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kentaro Nagamatsu;Takumi Miyagawa;Atsushi Tomita;Hideki Hirayama;Yuusuke Takashima and Yoshiki Naoi
