Preparation of functional thin films with elemental gradient by sputtering with mixed powder targets
Preparation of functional thin films with elemental gradient by sputtering with mixed powder targets
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混合粉末靶材溅射制备元素梯度功能薄膜
DOI：
10.35848/1347-4065/ac1488
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Nishiguchi and Yoshiaki Suda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroharu Kawasaki;Tamiko OHSHIMA;Yoshihito YAGYU;Takeshi Ihara;Kazuhiko Mitsuhashi;Hiroshi Nishiguchi and Yoshiaki Suda
